BST/LSCO异质结构的研究

摘要：

利用脉冲激光沉积法在STO(001)基片上外延生长了La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO)导电氧化物薄膜,研究了基片温度对LSCO薄膜结构和电性能的影响,并制备了Ni-Cr/ BST/ LSCO多层膜结构.XRD谱发现,沉积温度在450～700℃均能得到高度(00 l)取向的LSCO薄膜,LSCO(002)峰的半高峰宽FWHM =0.1°～0.2°;在LSCO薄膜上制备的BST介质膜具有良好的c轴取向和较高的表面平整度,其εr约为470,tgδ为0.036～0.060.

关键词：无机非金属材料、La0.5Sr0.5CoO3、脉冲激光沉积法、外延生长、BST

所属期刊栏目：25

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划50425207

在线出版日期：2006-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-57