阳极氧化铝薄膜厚度测试方法的研究

摘要：

通过自制的铝电解电容器模型,利用氧化铝薄膜具有的介电性能,通过电容量法可以准确快捷地计算氧化膜的厚度,并通过显微直接观察法、电解电量法、伏安法进行了验证.得到如下结论:所用铝条样品天然氧化膜的厚度约为8.0 nm;在H3PO4溶液中形成的氧化膜厚度随氧化时间变化为50～80 nm;阻档层生成率1.219.

关键词：电子技术、阳极氧化铝、氧化膜、介电性能、厚度

所属期刊栏目：24

分类号：O646.6 (物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：中国科学院资助项目50373019

在线出版日期：2005-12-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：64-66