In2O3纳米粉体的制备及其气敏性能研究

摘要：

以In2(SO4)3为原料,通过sol-gel法制备了立方晶系的In2O3粉体.利用 X射线衍射仪、透射电镜对材料的组成、晶粒的大小、结构进行了表征.结果表明,产物为平均粒径30 nm左右的圆球形颗粒.将前驱体分别在不同温度下进行热处理,对其气敏性能研究发现,900℃热处理的元件,在工作温度245℃时,对50×10-6 Cl2表现出较好的灵敏度(1.5×104)和选择性.600℃热处理的元件,在工作温度245℃时,对50×10-6 NO2的灵敏度高达2.5×105.最后,对其气敏机理进行了分析.

关键词：电子技术、氧化铟、sol-gel法、气敏性能、氯气

所属期刊栏目：24

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：河南省自然科学基金0424270073

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-12,15