薄膜声体波谐振器(FBAR)的研究进展

摘要：

综述了国内外FBAR技术的研究现状和进展.分析了基于空气腔和布拉格反射层两种主流FBAR的结构、工作原理和建模方法.阐述了适用于FBAR的压电薄膜材料、电极材料以及布拉格反射层材料的选择.并介绍了作为FBAR主要应用的射频滤波器和双工器的拓扑结构和设计方法,以及制备FBAR器件时需克服的关键技术等问题.

关键词：电子技术、薄膜声体波谐振器、综述、压电薄膜、声体波、射频微机械、滤波器

所属期刊栏目：24

分类号：TN713(基本电子电路)

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：65-68