多晶硅微悬臂梁断裂的可靠性预测模型

摘要：

分析了多晶硅微悬臂梁断裂失效机理,利用威布尔分布理论建立了多晶硅微悬臂梁在轴向拉抻和垂直两种受力方式下的断裂可靠性预测模型,模型考虑了由于实际加工工艺所带来的残余应力因素,模型所得的预测曲线与实验数据比较吻合.

关键词：电子技术、MEMS、微悬臂梁、可靠性预测、威布尔分布

所属期刊栏目：24

分类号：O213.2(概率论与数理统计)

资助基金：国防重点实验室基金;国家重点实验室基金51433030105JW0601

在线出版日期：2005-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66