10.3969/j.issn.1001-2028.2005.05.019
氧化锌铝薄膜的光电特性、制备技术及应用
ZAO薄膜具有低电导率、高可见光透射率、高红外光反射率及其它半导体特性,应用于平板显示器件、太阳能电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层等领域.ZAO薄膜原料易得,制造成本低廉,无毒,易于实现掺杂,且在等离子体中稳定性好,易刻蚀,因而有可能成为ITO的替代产品,尤其是在太阳能电池透明电极领域.
电子技术、ZAO薄膜、综述、光电特性、制备方法、应用前景
24
TM24;TN604(电工材料)
2005-06-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
59-62