叉指形电极压电驱动器性能分析

摘要：

分析了叉指形电极压电驱动器的结构特点和电场结构.给出了压电驱动器的本构方程,建立了叉指形电极压电驱动器的有限元模型,研究了指形电极关键尺寸和压电片厚度尺寸对驱动器应力、应变的影响,对比分析了普通电极压电驱动器的应力和应变性能.研究结果表明:叉指形电极压电驱动器比普通电极压电驱动器驱动应力大,最大可以高达5倍;具有明显的正交异性,横向效应系数为-2.16;减小电极中心距和压电片厚度能提高驱动器性能.

关键词：电子技术、压电驱动器、电极型式、驱动性能、有限元、正交异性

所属期刊栏目：24

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金10302010;航空基金H0117-013;江苏省自然科学基金90116-013

在线出版日期：2005-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,5