RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算

摘要：

桥膜弹性系数是影响RF MEMS开关启动电压的重要参量.对RF MEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构.考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式.根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压.

关键词：电子技术、RF MEMS开关、桥膜、驱动电压、弹性系数

所属期刊栏目：24

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国防科技预研基金00J7.1.2.DZ01

在线出版日期：2005-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：47-50