sol-gel法制备多孔纳米SiO2薄膜

摘要：

以NH3·H2O为催化剂,用正硅酸乙酯(TEOS)溶胶–凝胶工艺制备纳米多孔二氧化硅薄膜.强碱催化使二氧化硅胶粒溶解度增大并增大了体系的离子强度;丙三醇的加入,与水解中间体结合,有效抑制了二氧化硅溶胶胶粒的长大;PVA(聚乙烯醇)对二氧化硅胶粒有强的吸附作用,使胶粒聚联成大的网络结构,增加了成膜性能.通过改变反应物的剂量,调节添加剂的用量,可以制得折射率1.18～1.42,对应孔率60.50%～7.75%并且孔径小于100 nm的纳米多孔二氧化硅薄膜,.单层薄膜厚度在3 μm以内精确可控.

关键词：无机非金属材料、纳米多孔二氧化硅薄膜、溶胶—凝胶工艺、孔率、厚度控制

所属期刊栏目：24

分类号：TN285(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613304;上海市学科科研项目

在线出版日期：2005-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-34,37