退火工艺对钛酸锶钡薄膜结构的影响

摘要：

采用射频磁控溅射在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜,在500～750℃之间对薄膜快速退火.XRD分析表明:500℃时BST薄膜开始晶化为ABO3型钙钛矿结构,温度越高结晶越完整,晶粒越大.理论计算表明,薄膜在低温退火后无择优取向,高温退火后在(111)、(210)晶面有择优取向.退火气氛、保温时间、循环次数等因素对薄膜晶粒大小无明显影响,但对表面粗糙度和结晶程度影响较大.

关键词：无机陶瓷材料、BST薄膜、退火、择优取向、RMS、XRD、AFM

所属期刊栏目：23

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划

在线出版日期：2004-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19