掺杂浓度对AZO薄膜结构和性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶工艺在玻璃基片上制备Al3+掺杂型的ZnO(AZO)透明导电薄膜,对薄膜进行了XRD和SEM分析,并对其光电性能作了详细的研究.结果表明:薄膜为纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长;薄膜的可见光透过率可达80%以上;Al3+掺杂型的ZnO透明导电薄膜的电阻率为1.5×10-2～8.2×10-2 Ω·cm.

关键词：半导体材料、AZO薄膜、溶胶-凝胶、光电性能

所属期刊栏目：23

分类号：TM23(电工材料)

在线出版日期：2004-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：31-33