压电谐振式水平姿态传感器研究

摘要：

介绍了利用石英晶片频率的力敏效应制作的水平姿态传感器及其敏感头的结构.分析了敏感头结构参数与传感器的标度因数、线性度等技术指标的关系,并指出了该传感器需要进一步研究的问题.目前,压电谐振式水平姿态传感器样机的分辨率优于0.001 4°,在±2°的范围内,标度因数达1.60 Hz/5″,非线性度不大于0.13%.

关键词：电子技术、压电石英、原理结构、水平姿态传感器、性能指标

所属期刊栏目：23

分类号：O799(晶体物理化学过程)

资助基金：总装备部科研项目0241323030415;北京市传感器重点实验室基金603028

在线出版日期：2004-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-26,50