制备工艺对氧化钒薄膜微观结构的影响

摘要：

为了研究制备工艺对氧化钒薄膜微观结构的影响,采用X射线衍射和扫描电镜,对用sol-gel法制作的、不同热处理条件下的硅基氧化钒薄膜之结构及形貌进行了分析.结果表明,470℃下制作出的有种子层薄膜无裂纹、致密性好、晶粒尺寸分布均匀,在此温度下热处理4 h得到的有种子层氧化钒薄膜V2O5相最纯,衍射峰最强,而提高热处理温度会导致晶向杂乱,v2O5相的衍射峰强度降低,使得VO2相增多.

关键词：有机sol-gel法、氧化钒薄膜、微观结构

所属期刊栏目：23

分类号：TB43;O484.4(工业通用技术与设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA325080;国家自然科学基金90201028

在线出版日期：2004-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37