电子陶瓷薄膜材料的集成及应用

摘要：

阐述了近几年来国内外关于电子陶瓷材料的集成研究状况及发展趋势,指出了电子陶瓷薄膜材料的产品在诸多领域的重要应用.对电子陶瓷材料与微电子器件的集成,以及电子陶瓷在微传感器和MEMS中的应用情况作了重点介绍.

关键词：电子陶瓷、集成、微电子器件、薄膜材料

所属期刊栏目：23

分类号：TM28;TQ174 (电工材料)

资助基金：湖北省自然科学基金2001ABB017

在线出版日期：2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17