新型悬空结构射频微电感的制作与测试

摘要：

利用MEMS(Micro Electro-Mechanical System:微机电系统)工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容,且其高频性能较好.并对此结构微电感的性能进行了测试,测试频率范围在0.05～10 GHz之间,结果表明:当悬空结构微电感的悬空高度为20 μm,工作频率在3～5 GHz范围内时,其电感量达到4 nH,其Q值最大可达到22.

关键词：微电感、悬空结构、射频

所属期刊栏目：23

分类号：TM55(电器)

资助基金：国防预研基金41318.8.1.3

在线出版日期：2004-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：54-56