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10.3969/j.issn.1001-2028.2004.01.015

高纯超细电子级球形石英粉研究

引用
介绍了高纯超细球形石英粉的主要性能与用途,目前国内的研究开发现状和国际球形石英粉的生产现状.分析比较了高频等离子球化法、直流等离子体球化法、碳极电弧球化法、气体燃烧火焰球化法、高温熔融喷射以及化学合成球化法的工艺特点,并分析得出气体火焰球化法工艺简单,适宜大规模工业生产,产量已达500 kg/h,是最具潜力的球化工艺.

高纯超细粉、球形二氧化硅粉、结晶硅微粉、熔融硅微粉

23

TB383(工程材料学)

国家自然科学基金50136020;国家科技攻关项目2001BA609A-10

2004-02-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

48-51

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电子元件与材料

1001-2028

51-1241/TN

23

2004,23(1)

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