高密度球键合质量的影响因素和解决方法

摘要：

随着焊盘间距的减小和引线数目的增多,键合失效的发生也越来越频繁.系统分析了影响高密度球键合质量的各种主要因素得出在诸多因素中金属熔球(FAB free air ball)直径,引线摆动幅度和劈刀顶端形状等三个因素对键合质量的影响最大.文中介绍了线弧固定技术,紫外线金属熔球控制工艺和新型劈刀等三种能有效减少键合失效的新工艺和新方法.

关键词：高密度球键合、失效、引线键合、劈刀

所属期刊栏目：22

分类号：TN405 (微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA421210

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,35