世界三大集成元件新产品工艺技术研发动态

摘要：

论述集成无源元件的重要作用,简介集成电阻器、集成电容器、集成电感器技术.系统探讨了多层金属化工艺、主要衬底材料、工艺集成规则、集成无源模块组装工艺、设计方法及设计实例等关键工艺技术.

关键词：集成技术、电阻器、电容器、电感器

所属期刊栏目：21

分类号：TN603.5 (电子元件、组件)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22