微电子机械系统技术及其应用

摘要：

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料.该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类.所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛.本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向.

关键词：微电子机械系统、微机械加工技术、MEMS应用

所属期刊栏目：21

分类号：TN454 (微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30