直流微电机用环形低压压敏电阻器的性能比较

摘要：

测量了目前直流微电机消噪用ZnO和SrTiO3两类环形压敏电阻器的特性参数，分析了它们的介电-频率和介电-温度特性，并与所研制的用籽晶法制备的ZnO压敏电阻的性能相比较。比较测量结果说明，采用籽晶法制备的ZnO压敏电阻器, 具有易于低压化且压敏特性良好的优点。尽管ZnO的电容量不及SrTiO3，但由于ZnO压敏电阻的制备属常规工艺且成本低廉，在要求价格低的直流微电机应用领域，只要提高ZnO环形压敏电阻器的压敏特性， 它仍具有较高的实用价值。

关键词：直流微电机、环形压敏电阻、氧化锌、钛酸锶、介电特性

所属期刊栏目：20

分类号：TN304.93;TP212(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：14-15,19