硅衬底Sr1-xLaxTiO3薄膜光敏特性研究

摘要：

利用氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积钛酸镧锶（Sr1-xLaxTiO3）膜，并制成平面型电阻器。研究了薄膜电阻器的光电流与照度、电压和电极间距的关系以及薄膜在调制光下的频率特性，计算出薄膜中载流子寿命约为29 ms。结果表明，Sr1-xLaxTiO3薄膜在可见光区域具有较好的光敏特性，其灵敏度和光电导增益都比较高。在弱照度下，光电流随照度变化较快，主要与单分子复合过程相关；而在强照度下，变化趋于缓慢，这与双分子复合过程有关。

关键词：钛酸镧锶薄膜、光敏电阻器、光敏特性

所属期刊栏目：20

分类号：TN304.91;TN361(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：10-11,13