ZrO2膜的相结构与显微组织

摘要：

用X射线衍射和扫描电镜研究了ZrO2膜的晶体结构和显微组织。结果表明ZrO2膜的相结构为立方氧化锆（c-ZrO2），晶粒尺寸细微。发现ZrO2膜中存在具有（111）面织构的柱状晶结构，这种结构可在基片上加负偏压消除。

关键词：氧化锆膜、晶体结构、织构

所属期刊栏目：20

分类号：TM281(电工材料)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-6,9