制备工艺对厚膜SnO2气敏元件性能的影响

摘要：

采用平面丝网印刷技术制备不同厚度的SnO2厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后,测量试样对乙醇气体的灵敏度,研究热处理温度及敏感膜厚度等对元件性能的影响.结果表明,热处理温度和膜厚的均匀性会影响元件的电阻值和灵敏度,准确控制热处理温度和膜厚能显著改善元件的灵敏度和一致性.

关键词：二氧化锡气敏元件、厚膜工艺、膜厚度、热处理、灵敏度

所属期刊栏目：19

分类号：TN304.92(半导体技术)

资助基金：海南省自然科学基金59801

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：13-14