透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展

摘要：

综述了TCO(透明导电氧化物)薄膜研究开发的历史与现状,展望了产业化前景.传统的ITO薄膜性能优异,是重要的平面显示器件用材料.新型ZnO薄膜成本低廉,极具发展潜力,有望在太阳能电池领域取代ITO(掺锡氧化铟).多元复合氧化物薄膜是TCO的发展方向之一;柔性衬底的应用扩大了TCO薄膜的用途;溶胶-凝胶制备工艺的开发促进了大面积TCO薄膜的实用化.

关键词：TCO、ITO、AZO、光电性质、制备工艺、应用现状、产业化前景

所属期刊栏目：19

分类号：TN304.2+1(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：40-41