溶胶-凝胶法制备掺铌的SrTiO3薄膜

摘要：

采用溶胶-凝胶法,用醋酸锶、钛酸丁酯、乙醇铌作为前驱体,用旋涂法制备掺铌钛酸锶多晶薄膜.用醋酸作为醋酸锶溶剂,并用丙三醇作为辅助溶剂,溶胶浓度及黏度均可在较大范围内调节.经600℃热处理后薄膜转化为钙钛矿结构,扫描俄歇电子显微镜所做表面形貌与元素分析表明薄膜均匀、无裂纹、表面光滑、晶粒细小.

关键词：溶胶-凝胶法、钛酸锶薄膜、介质薄膜

所属期刊栏目：19

分类号：TM283(电工材料)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-6