二氧化钌水洗工艺的改进

摘要：

常用二氧化钌水洗钠离子工艺,用容器沉淀二氧化钌,抽取上部溶液,加水洗.用这种方法,二氧化钌产品收率低,约75%.用玻沙漏斗抽滤,加入热去离子水洗方法,二氧化钌产品收率高,约99%,制备出的二氧化钌质量符合要求,降低了生产成本.

关键词：二氧化钌、水洗工艺、钠离子

所属期刊栏目：18

分类号：TN452(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：23-23