用sol-gel法在不锈钢基片上制备TiO2薄膜

摘要：

介绍利用钛酸丁酯为前驱液,用sol-gel法在不锈钢基片上制备TiO2薄膜.研究分析了冰醋酸、乙酰丙酮等添加物对溶胶性能的影响,对制备在不锈钢基片上的TiO2薄膜进行XRD分析,并检测薄膜的阻-温特性、V-I特性、绝缘强度等电学特性.实验显示添加一定比例的H2O、冰醋酸、乙酰丙酮,可以得到长时间不胶凝、性能稳定的溶胶,通过适当工艺,能在金属基片上制备出致密、不开裂、电阻率为105～106Ω.cm的TiO2薄膜.

关键词：二氧化钛薄膜、溶胶-凝胶法、不锈钢基片、电学特性

所属期刊栏目：18

分类号：TM28(电工材料)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：5-6