X波段五位移相器和小功率开关HMIC的研制

摘要：

介绍了一种用混合微波组装工艺制造的X波段PIN二极管五位数字移相器和小功率开关HMIC的电路设计和制造工艺,并分析了制造工艺对移相器的影响,提出了控制这种影响的方法.用这种控制方法制造的该X波段PIN二极管五位数字移相器和小功率开关HMIC:体积小、可靠性高.

关键词：移相器、小功率开关、制造工艺

所属期刊栏目：18

分类号：TN454(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：32-33