小型化混合微波集成电路制造技术

摘要：

介绍了小型化混合微波集成电路(MHMIC)的制造工艺,列举了研制的几种典型的小型化混合微波集成电路(MHMIC).与传统的混合微波集成电路(HMIC)相比,MHMIC具有体积小、重量轻、组装密度高、可靠性高、设计和调试灵活方便等显著优点.

关键词：小型化混合微波集成电路、薄膜工艺、厚膜工艺、单片微波集成电路、贴装焊接、丝焊

所属期刊栏目：18

分类号：TN454(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：30-32