一种新型MCM基板--阳极氧化多层基板

摘要：

采用电化学方法,对基板上的Al膜进行选择性阳极氧化,从而制得导带、通孔和介质,重复上述工序,便可制得多层布线基板.与常用多层布线基板,如MCM-C、MCM-D比较,它具有制作工艺简单独特、互连密度高,线径、间距和孔径更小,平面性好,绝缘电阻高等优点.

关键词：阳极氧化、多层布线基板、MCM

分类号：TN45(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：15-17