准原位透射电镜样品气体处理系统的研制及应用

摘要：

环境气氛对材料结构与性能的影响是材料领域关注的重要问题.透射电子显微镜是研究材料微观组织结构的重要仪器,目前通过高成本改造电镜腔室可引入气体,但为保证电镜正常工作和仪器的分辨率,可通入气体种类少,腔室气体压力低;原位气氛样品杆操作难度高、安全系数低、耗材昂贵.本文针对上述问题,研制了一种可以直接插入透射电镜样品杆的气体处理系统及其应用,实现了易于从环境气氛实验向透射电镜观察迁移的准原位功能,它采用不锈钢材质加工而成的真空腔室,可通入更高气压、更多种类的气体,实现样品处理多样化,节省透射电镜使用机时,扩宽了对材料与气体相互作用的研究范围.

关键词：透射电子显微镜、气体处理系统、准原位

所属期刊栏目：41

分类号：TB47;TB79(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;陕西省科技创新基地

在线出版日期：2022-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：381-386