TiO2薄膜的相结构调控与表征

摘要：

本文利用脉冲激光沉积技术在LaAlO3(001)衬底上生长了单晶锐钛矿和双相TiO2薄膜,并利用X射线衍射和透射电子显微术对薄膜的显微结构进行了系统表征.单晶锐钛矿薄膜在LaAlO3(001)衬底上实现了外延生长,双相TiO2薄膜以单晶锐钛矿TiO2为基体,在其中夹杂着金红石TiO2颗粒.TiO2薄膜的相结构可通过调整靶材与衬底的间距来调控,远靶基距(150 mm)利于单晶锐钛矿薄膜生长,近靶基距(50 mm)易获得双相TiO2薄膜.锐钛矿TiO2电镜样品在离子减薄过程中易发生表面还原,导致电镜观察中出现莫尔条纹.研究表明30％H2 O2浸泡可有效去除离子减薄样品表面的损伤层,防止莫尔条纹的出现.

关键词：TiO2、单晶薄膜、双相薄膜、莫尔条纹、脉冲激光沉积

所属期刊栏目：41

分类号：O484.1;O785;O742+.4;TG115.21+5.3(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国科学院前沿科学重点研究计划项目;广东省基础与应用基础研究重大项目;季华实验室项目

在线出版日期：2022-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：111-116