扫描电镜发射源的对比及其对图像质量影响的分析

摘要：

随着电子显微技术的快速发展,电镜的性能近几年也得到了很大程度的提升.电镜技术的提升对国家基础研究和企业科技创新等方面起到了核心支撑作用.目前,扫描电镜技术已经成为材料学、生物医学、信息产业、地质科学和石油化工等诸多领域重要的形貌与尺寸表征手段.其中,扫描电镜的发射源作为电镜的主要部件,直接决定了扫描电镜的分辨率和所得图像的信噪比.因此,深入了解扫描电镜发射源的工作机制有助于正确使用电镜,并获得高质量的扫描图像,进而实现电镜分析服务于科研工作的目的.

关键词：扫描电镜;发射源;图像

所属期刊栏目：40

分类号：TN16;TG115.21+5.3(真空电子技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）No.2015CB251102

在线出版日期：2022-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：764-769