精研一体机结合离子减薄仪制备透射电镜截面样品

摘要：

透射电镜(TEM)截面样品的制备质量在TEM显微分析中十分重要.离子减薄是制备透射电镜截面样品的一种有效方法,而离子减薄前的预减薄过程是制备截面样品的关键基础步骤.传统的离子减薄预减薄过程极为复杂,使用的制样设备繁多.本文详细介绍了一种工艺简单、实用性强的制备截面样品的新方法,该方法主要采用精研一体机预减薄结合离子减薄仪终减薄截面样品,在简化了制样操作过程的同时,取代了传统的手工研磨样品,该方法能成功地制备出透射电镜截面样品.

关键词：透射电镜;截面样品;预减薄;精研一体机;离子减薄仪

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分类号：TG115.21+5.3;O76(金属学与热处理)

资助基金：国家重点研发计划No.2019YFC1905301-1

在线出版日期：2022-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：753-757