软磁样品对半浸没式物镜的影响及故障排除

摘要：

由于半浸没式物镜极靴下方存在磁场,用扫描电镜表征磁性样品时存在因样品被吸入物镜而严重影响成像的风险.本文中,日立S4700型场发射扫描电镜突然出现图像信噪比急剧下降、像散不能消除的问题,经过分析和排查发现是由软磁性的泡沫镍被吸入物镜极靴导致的故障.本文从物镜结构、合轴、像散三个方面分析了磁性样品对电镜成像的影响,并结合此次故障的分析和排除方法,总结了扫描电镜表征磁性样品的注意事项以及磁性样品吸入的处理方法.比如在磁性样品制备方面,应注意磁性样品的消磁和固定;在参数设置方面,应使用合适的观察模式并适当加大工作距离.

关键词：扫描电镜、磁性样品、物镜、故障排除

所属期刊栏目：40

分类号：TG115.21+5.3;TM271+.2(金属学与热处理)

资助基金：哈尔滨工业大学深圳创新实验项目No.INEP1013

在线出版日期：2021-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：182-187