低噪声原子力显微镜测量单元设计

摘要：

为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征样品形貌的分辨率及纵向检测灵敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置.通过多源噪声抑制系统的设计,实现了实验环境下传递到实验装置的高低频振动由69 nm有效的衰减至0.03 nm以下.结合光偏转理论,系统在大气下的探针检测灵敏度为156.4 mV?nm-1、电压偏转噪声密度为2.24μV/√Hz、偏转噪声密度达到了17.72 fm/√Hz.系统噪声得到有效的抑制,为进一步实验奠定了基础.

关键词：非接触式原子力显微镜(NC-AFM)、光偏转检测、噪声溯源抑制、主动隔振、低噪声

所属期刊栏目：40

分类号：TH741;TH742(仪器、仪表)

资助基金：科技部国家重点研发计划项目;国家自然科学基金资助项目;山西省重点研发计划项目;山西"1331工程"重点学科建设

在线出版日期：2021-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：138-143