10.3969/j.issn.1000-6281.2021.01.011
难检测样品的能谱分析技术研究
X射线能谱仪(EDS)作为扫描电镜的重要附件,能够便捷、快速地分析样品微区的元素信息.然而,部分难分析样品在采用常规的EDS测试技术时会出现较大的分析误差或错误.本文利用装配布鲁克QUANTAX XFlash 6|30能谱探测器的Zeiss sigma 500型场发射扫描电镜,针对轻重元素兼具样品、粗糙不平整样品、谱峰相近元素样品以及纳米填充颗粒四种较难检测样品的能谱分析,分别给出了相应的解决技术并剖析了典型的应用案例,相比较常规技术,其能谱分析的准确性获得了很大的提高,这些解决问题的思路和方法可作为今后分析类似样品的一种参考.
能谱分析、难检测样品、分析误差、应用案例
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O657.62(分析化学)
湖北省高等学校实验室研究项目No.HBSY2019-15
2021-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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