10.3969/j.issn.1000-6281.2020.04.013
蔡司GeminiSEM 300型场发射扫描电镜常见故障的预防、排除和磁性样品的测试方法
扫描电镜故障的预防和及时排除对于延长扫描电镜的使用寿命,节约维修成本有着重要的意义.本文详细总结了蔡司GeminiSEM 300型场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)可能发生的一些故障,以及故障发生的原因、排除方法和预防措施,并介绍了测试磁性样品时的工作条件,希望对同行有参考的作用.
扫描电镜、故障排除、预防措施、磁性样品
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TG115.21+5.3;TN16;TH744(金属学与热处理)
2020-09-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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