宽离子束抛光方法在材料显微分析制样中的应用

摘要：

抛光是揭示样品内部信息的重要方法,尤其是在对样品平整度、残余应力、杂质含量等要求较高的显微分析测试中,高质量的抛光更为重要.基于离子溅射原理的宽离子束(BIB)抛光方法是近年来兴起的先进抛光方法,相比传统抛光方法(如机械抛光、电化学抛光和化学抛光)具有诸多优势.本文通过典型实例展示了BIB抛光技术在多种特殊材料抛光中的独特优势.以LaFeSi/Al复合材料为例,阐述了BIB抛光在各相硬度差异大、应力敏感度高的多相复合材料样品制备中的优势;以常规球形颗粒NiCoMn的断面样品和片状云母粉末断面样品制备为例,对比说明了前处理工艺对BIB抛光的重要性;以多孔/致密结构的双层电解质为例展示了BIB抛光在高孔隙率材料断面样品制备中的优势;以SmCo合金为例分析了金属涂层材料在BIB抛光中常见的溅射反沉积现象,并提供避免实验假象的解决方案.

关键词：宽离子束、抛光、横截面、多孔材料、复合材料、层状材料、粉末材料

所属期刊栏目：39

分类号：G312;TG1(科学研究工作)

资助基金：浙江省基础公益研究计划;宁波市科技服务业示范项目

在线出版日期：2020-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：414-422