基于全因子实验设计的离子抛光工艺研究

摘要：

材料学院检测分析中心利用离子抛光设备在电镜制样服务中发现,金属基复合材料的送样率很高,但缺乏标准制样工艺研究.本文针对钛基复合材料,设计了离子抛光两因素四水平的全因子试验.两因素分别为加速电压和抛光时间,其中加速电压的水平为3kV、4kV、5kV和6kV,抛光时间为2h、4h、6h和8h.抛光宽度、抛光深度和抛光面积为离子抛光形态主要的表征参数.观察不同抛光工艺参数条件下的抛光形态,并利用软件对抛光成形参数进行量化和对比计算.利用方差分析验证了主效应和交互效应的模型准确性,并对离子抛光的成形参数进行了回归分析和范围预测.该研究可以为材料离子抛光工艺提供检测服务案例,建立标准制样工艺,以减小实验周期和成本,提高电镜制样效率.

关键词：加速电压、抛光时间、抛光宽度、抛光深度、抛光面积

所属期刊栏目：38

分类号：O766+.1(晶体结构)

资助基金：上海交通大学决策咨询课题重点课题JCZXSJA2018-001

在线出版日期：2019-06-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：276-280