计量电镜中纳米位移台控制方法研究

摘要：

针对计量型扫描电镜成像方法的特殊需求,提出了一种新型的纳米位移台扫描运动控制方法.利用乘法DA控制方法实现了纳米位移台驱动信号的整形输出.利用该模拟信号实现了纳米位移台的扫描范围的增益控制,扫描图像的旋转和偏移控制.该控制方法有效地的保持了纳米位移台的步进位移分辨力,克服了传统纳米位移台控制系统损失纳米步进精度的缺点.通过实验验证了此位移台控制新方法的可行性,位移台移动方式和理论吻合.

关键词：纳米位移台、定位精度、纳米步进、DSP控制、角度旋转

所属期刊栏目：38

分类号：TN16;TG115.21+5.9(真空电子技术)

资助基金：科技部重大科学仪器设备开发专项2017YFF0105904;中国科学院仪器研制项目GJJSTD20170004

在线出版日期：2019-06-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：228-235