用于原子力显微镜的qPlus探针的扫描电镜表征

摘要：

基于qPlus探针的原子力显微镜有更高的空间分辨率,但其工作原理有别于传统的悬臂梁探针,结构也更加复杂,其探针尖端机械振动的振幅和方向是影响实验结果的核心问题.通常通过锁相放大器直接测量到的是来自音叉的压电电流,而不是针尖的机械振动本身.本文提出了一种借助扫描电子显微镜在实空间实时观测qPlus探针振动状态的方法,在实验上得到了在压电陶瓷激励下,探针尖端振动的方向和振幅等要素,针尖振幅与激励电压呈线性关系,针尖机械振动的共振频率与压电电流的共振频率一致,符合理论预期;然而实验观察到的振动方向却接近于水平方向.本文的研究结果对优化qPlus探针结构,提升性能提供了参考.

关键词：qPlus探针、扫描电子显微镜、动态观察

所属期刊栏目：37

分类号：TG115.21+5.7;TG115.21+5.3(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划8632015AA034601;国家自然科学基金资助项目. 61674164, 61475184;中国科学院科研装备仪器研制项目YZ201341

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：264-269