聚焦离子束制备透射电子显微镜样品的两种厚度判断方法

摘要：

透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提.本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、SrTiO3和LaAlO3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法.第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度.这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准.对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接.

关键词：聚焦离子束、透射电子显微镜样品、厚度、SEM衬度

所属期刊栏目：36

分类号：O766+.1(晶体结构)

资助基金：国家重点基础研究发展计划2014CB921002;中国科学院战略先导BXDB07030200;国家自然科学基金资助项目51522212,51421002

在线出版日期：2017-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：18-23