一种基于聚焦离子束技术的环境透射电镜 光阑清理方法

摘要：

光阑是透射电子显微镜电子光学系统的重要部件之一,其对透射电镜的成像质量有着重要的影响,然而原位环境透射电镜由于在使用中经常需要通入气氛并配合加热,因污染累积导致光阑的使用寿命大为降低.本文针对传统真空高温灼烧清理光阑方法需要较强的经验性及成功率低的缺点,提出一种新的光阑清理方法.该方法使用聚焦离子束(FIB)可定点、高效地清理光阑孔边缘的各种污染物,在恢复光阑孔圆度的同时又不会对光阑的其他部分造成损伤而引起失效.最终测试结果表明清理后的光阑满足透射电镜的使用要求,因此这种基于FIB技术的加工手段为电镜工作者提供了一种高效、精确和无损的光阑清理方法.

关键词：光阑、聚焦离子束、清理、透射电子显微镜

所属期刊栏目：35

分类号：TN16;O766+.1(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51231005

在线出版日期：2017-02-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：538-543