场发射扫描电镜上探头探测效率下降的现象及原因分析

摘要：

针对部分日立场发射扫描电镜上探头探测效率下降而导致图片分辨率下降等现象，分析了上探头探测效率下降的原因，指出在高加速电压下高能背散射电子经反弹进入上探头的概率随之增加，导致铝膜的损坏和闪烁体的充电，空气可以中和并带走电荷。这对延长电镜上探头的寿命及保持电镜处在较好的使用状态具有重要意义。

关键词：上探头、探测效率、闪烁体、背散射电子

所属期刊栏目：35

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2016-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53