透射电镜电学测试样品杆与扫描电镜联合系统的搭建

摘要：

透射电子显微镜电学测试样品杆是用于透射电子显微镜中测试样品外场加载下电学性能的专用仪器。本文介绍通过对法兰及其它对接接口的系列设计，使该系统可应用于扫描电子显微镜中。该系列设计改造，能够大大拓展该电学测试系统的应用范围。以单根Si纳米线为例，在扫描电子显微镜中利用该电学测试系统实现Si纳米线弯曲变形下电输运性能的研究。

关键词：扫描电镜、透射电镜、电学性能

所属期刊栏目：35

分类号：TN16;TG115.21+5.3(真空电子技术)

资助基金：全国优博基金资助项目No．201214；北京市科技新星资助项目No． Z121103002512017；北京市教委资助项目No． KM201310005009；国家自然科学基金资助项目No．11374029，No．11234011．

在线出版日期：2016-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6