AFM反馈系统仿真模型的建立及实验

摘要：

原子力显微镜（ AFM）广泛应用于纳米尺度的成像和操纵，其较低的扫描速度严重影响了测试的效率。为此，许多研究人员通过设计先进的Z向控制算法改善系统的响应速度，达到提高扫描速度的目的，而先进的控制算法的实现首先需要对AFM的Z向反馈系统进行建模。为此，本文提出一种简单准确的系统辨识方法，通过对系统输入输出数据的分析，得到AFM的Z向反馈系统模型，并利用该模型验证先进控制算法的控制性能。实验表明该方法能为先进控制算法的设计和实现建立有效的仿真模型。

关键词：原子力显微镜、系统辨识、仿真模型

所属期刊栏目：35

分类号：TP391.9;TH742(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划No．2012AA041204；天津职业技术师范大学校级启动基金No． KYQD14047；天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金No． PIL1502．

在线出版日期：2016-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：223-228