一种提高扫描电子显微镜－能谱空间分辨率的方法

摘要：

目前，扫描电子显微镜－能谱（ SEM?EDS）联用技术在分析测试领域已得到广泛应用，它可对材料和生物样品的微观表面进行形貌观察，并对样品中所选定的微区内进行元素成分定性定量以及元素分布分析。但是，由于元素的特征X射线能量高，在样品中的出射范围较深，能谱的空间分辨率较差，导致在使用传统制样方法时都不可避免地会受到来自叠加样品特征X射线以及基底材料特征X射线的干扰，从而影响最终实验结果。为了克服能谱空间分辨率不足的问题，本文应用薄片法的原理研制了一种新的装置，将纳米厚度的样品分散在装置的碳膜上，进行能谱分析。通过与传统实验的对比，附加新装置后其能谱空间分辨率较以往常规实验提高了2～4倍。

关键词：扫描电子显微镜-能量色散谱仪、特征X射线、空间分辨率、覆碳膜打孔碳棒、纳米颗粒材料

分类号：TN16;TB383;TG115.21+5.3(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目No．51302015；北京市科学技术研究院海外人才专项资助No． OTP-2013-001．

在线出版日期：2015-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：240-249