聚焦离子束技术制备与样品表面平行的TEM样品

摘要：

制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用.聚焦离子束(FIB)技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用.本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法(“V-cut”),并与传统的FIB制备TEM样品的方法(“U-cut”)进行比较,分析了该方法对实现某些特殊研究目的的独特性和适用性.

关键词：FIB、TEM样品制备、V-Cut

所属期刊栏目：32

分类号：O766+.1(晶体结构)

资助基金：国家自然科学基金面上项目51271209;中央高校基本科研业务费资助项目CDJZR12130048

在线出版日期：2013-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：420-425