高速原子力显微术研究进展

摘要：

自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具.由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业生产线原位测量以及高密度信息存储等领域的应用受到限制,因此发展高速原子力显微术近年来已引起国内外的高度关注.本文综述了高速原子力显微术关键技术(包括:微小探针、高速扫描器设计和控制方法)以及应用等方面的最近进展.

关键词：原子力显微镜、高速原子力显微成像、动态过程观测

所属期刊栏目：32

分类号：TG115.21+5.7(金属学与热处理)

资助基金：科技部973课题2013CB934004;国家自然科学基金科学仪器基础研究专项10827403

在线出版日期：2013-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：81-89